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狗万滚球(5)晶圆级封装微凸点光刻胶去除剂的技术开发及创新计划。随着封装技术的发展,尤其是硅通孔三维封装的引入,微凸点技术越来越重要。相对于典型的凸点技术,微凸点技术对光刻胶去除工艺提出了更高的要求,要求更低的金属蚀刻速率、优异的光刻胶去除性能、低氧化以及宽工艺窗口。公司拟通过对铝、铜、锡、银、铅、钛钨等金属材料表面的系统研究,引入独创性腐蚀抑制剂以及抗氧化剂,通过对去除剂、腐蚀抑制剂、抗氧化剂等的优化,使光刻胶去除剂既具有优异的光刻胶去除性能,同时对基材进行优异的保护,从而有效解决光刻胶残留、凸点基材攻击、凸点底切等技术难点,开发出相应的产品。

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齐鲁晚报

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